-
Κεραμικά ανταλλακτικά για εξοπλισμό ημιαγωγών ανιχνευτών
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Μεταφορέας εξοπλισμού ημιαγωγών κεραμικών πλακών
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικά ανταλλακτικά εξοπλισμού ημιαγωγών
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικός δακτύλιος στεγανοποίησης αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για σφράγιση θαλάμου υψηλής θερμοκρασίας
Ο κεραμικός δακτύλιος στεγανοποίησης της St.Cera έχει σχεδιαστεί ως εναλλακτική λύση στους πολυμερείς δακτυλίους Ο σε ακραία περιβάλλοντα όπου τα ελαστομερή υποβαθμίζονται. Κατασκευασμένος από 99,8% αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (Al₂O₃), αυτός ο άκαμπτος δακτύλιος στεγανοποίησης χρησιμοποιείται σε εφαρμογές στατικής στεγανοποίησης — συνήθως σε συνδυασμό με ένα μαλακό μεταλλικό ή γραφιτικό παρέμβυσμα — για να παρέχει αξιόπιστη συγκράτηση κενού ή αερίου σε θερμοκρασίες έως 800°C και σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος ή χημικών. Το υλικό προσφέρει μηδενική απαγωγή αερίων, υψηλή αντοχή σε θλίψη (υποκείμενη αντοχή σε κάμψη 361 MPa) και χημική αδράνεια (ανθεκτική σε αλογόνα, οξέα και αλκάλια εκτός από HF). Οι επιφάνειες στεγανοποίησης με ακριβή επίστρωση (επιπεδότητα ≤5 μm, τραχύτητα επιφάνειας Ra ≤0,2 μm) εξασφαλίζουν στεγανή επαφή με τα μεταλλικά ή κεραμικά εξαρτήματα που συνδυάζονται.
-
Δακτύλιος εστίασης θαλάμου αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για συστήματα χάραξης πλάσματος και καρδιαγγειακής νόσου
Ο δακτύλιος εστίασης θαλάμου της St.Cera είναι ένα κρίσιμο εξάρτημα του κιτ διεργασίας που χρησιμοποιείται σε εξοπλισμό ημιαγωγών χάραξης με πλάσμα, CVD και PVD. Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃), ο δακτύλιος περιβάλλει την άκρη της πλακέτας για να περιορίσει το πλάσμα και να βελτιστοποιήσει τη γωνιακή κατανομή ιόντων, βελτιώνοντας έτσι την ομοιομορφία χάραξης σε όλη την επιφάνεια της πλακέτας. Το υλικό προσφέρει εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα, υψηλή διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m) και θερμική σταθερότητα έως 1600°C, εξασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη αξιοπιστία σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος με βάση το φθόριο ή το χλώριο. Η ακριβής τριβή ID/OD και η επιπεδότητα (≤10 μm) επιτρέπουν την ακριβή τοποθέτηση της άκρης της πλακέτας, μειώνοντας τα ελαττώματα της άκρης και την παραγωγή σωματιδίων.
-
Κεραμικός δακτύλιος αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για θαλάμους διεργασίας CVD / PVD
Ο κεραμικός δακτύλιος της St.Cera έχει σχεδιαστεί ειδικά για χρήση σε θαλάμους διεργασίας CVD (Χημική Εναπόθεση Ατμών) και PVD (Φυσική Εναπόθεση Ατμών). Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃), αυτός ο δακτύλιος χρησιμεύει ως επένδυση θαλάμου, δακτύλιος εστίασης ή εξάρτημα κιτ διεργασίας για τον περιορισμό του πλάσματος και την προστασία των τοιχωμάτων του θαλάμου από τη διάβρωση. Το υλικό προσφέρει εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα, υψηλή διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m) και θερμική σταθερότητα έως 1600°C, εξασφαλίζοντας μεγάλη διάρκεια ζωής σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος με βάση το φθόριο. Οι ακριβείς ανοχές διαστάσεων (±0,05 mm σε Εσωτερική/Εξωτερική Διάμετρο) και η επιπεδότητα (≤10 μm) επιτρέπουν τη συνεπή τοποθέτηση των άκρων των πλακιδίων, βελτιώνοντας την ομοιομορφία της εναπόθεσης και μειώνοντας την παραγωγή σωματιδίων.
-
Κεραμικός τελεστής τελών Bernoulli — Χειρισμός πλακιδίων χωρίς επαφή για λεπτά και εύθραυστα πλακίδια
Ο κεραμικός τελεστής end effector Bernoulli της St.Cera χρησιμοποιεί αεροδυναμική ανύψωση για τον χειρισμό πλακιδίων χωρίς φυσική επαφή. Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃) ή καρβίδιο του πυριτίου (SiC), διαθέτει ακροφύσια ακριβείας που εκτοξεύουν πεπιεσμένο αέριο για να δημιουργήσουν ένα λεπτό φιλμ αέρα μεταξύ του end effector και του πλακιδίου. Αυτή η αρχή μη επαφής εξαλείφει τη μόλυνση του πίσω μέρους, το ξεφλούδισμα των άκρων και τις επιφανειακές ζημιές, καθιστώντας τον ιδανικό για λεπτά (≤100 μm), εύθραυστα ή στρεβλωμένα πλακίδια. Το κεραμικό υπόστρωμα παρέχει υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa για Al₂O₃· έως 550–600 MPa για SiC), χαμηλή μάζα και εξαιρετική διαστατική σταθερότητα, εξασφαλίζοντας επαναλήψιμη τοποθέτηση σε ρομπότ μεταφοράς πλακιδίων υψηλής ταχύτητας.
-
Κεραμικά μέρη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για ημιαγωγούς και βιομηχανικές εφαρμογές
Η St.Cera κατασκευάζει κεραμικά εξαρτήματα από αλουμίνα (Al₂O₃) με ακριβή κατεργασία σύμφωνα με τις προδιαγραφές των πελατών. Χρησιμοποιώντας αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8%, αυτά τα εξαρτήματα προσφέρουν εξαιρετική αντοχή σε κάμψη (361 MPa), υψηλή σκληρότητα (16 GPa) και εξαιρετική διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m). Σχεδιασμένο για εξοπλισμό ημιαγωγών, ανθεκτικά στη φθορά συγκροτήματα, ηλεκτρικούς μονωτές και εξαρτήματα υψηλής θερμοκρασίας, το υλικό προσφέρει σχεδόν μηδενική απορρόφηση νερού (0%) και συντελεστή θερμικής διαστολής 7,2×10⁻⁶/℃, εξασφαλίζοντας διαστατική σταθερότητα υπό ακραίες συνθήκες.
-
Πορώδες κεραμικό τσοκ κενού για χειρισμό στρεβλωμένης γκοφρέτας
Το πορώδες κεραμικό τσοκ της St.Cera είναι κατασκευασμένο από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας με ομοιόμορφο ανοιχτό πορώδες 30–45% και μέγεθος πόρων που κυμαίνεται από 10 έως 100 μm. Σε αντίθεση με τα συμβατικά αυλακωτά τσοκ, η πορώδης επιφάνεια παρέχει κατανεμημένο κενό σε ολόκληρη την πίσω πλευρά της γκοφρέτας, συγκρατώντας αποτελεσματικά στρεβλωμένες, λεπτές ή μεμονωμένες γκοφρέτες χωρίς να σηκώνονται ή να σπάνε οι άκρες. Το απαλό κενό (ρυθμιζόμενο μέσω περιοριστή) αποτρέπει επίσης τη σήκωση της πίσω πλευράς.
-
Τσοκ κενού από πορώδες κεραμικό με βάση την αλουμίνα για χειρισμό λεπτών πλακιδίων
Το πορώδες τσοκ με βάση την αλουμίνα της St.Cera κατασκευάζεται από 99,6% Al₂O₃ υψηλής καθαρότητας με ελεγχόμενο ανοιχτό πορώδες 30–45% και ομοιόμορφο μέγεθος πόρων που κυμαίνεται από 10 έως 50 μm. Σε αντίθεση με τα αυλακωτά τσοκ, η πορώδης επιφάνεια παρέχει κατανεμημένο κενό σε ολόκληρη την πίσω πλευρά της πλακέτας, εξαλείφοντας τα σημάδια στις άκρες και επιτρέποντας την απαλή συγκράτηση εξαιρετικά λεπτών (≤100 μm) ή στρεβλωμένων πλακιδίων. Το υλικό προσφέρει αντοχή σε κάμψη ≥250 MPa και θερμική σταθερότητα έως 400°C στον αέρα.
-
Πλάκα διανομής αερίου αλουμίνας για κεφαλή ντους CVD/PVD
Η πλάκα διανομής αερίου (κεφαλή ντους) της St.Cera είναι κατασκευασμένη με ακρίβεια από κεραμικό αλουμίνας υψηλής καθαρότητας 99,8%. Διαθέτει μια σειρά από μικροοπές (διαμέτρου 0,3–1,5 mm) που εξασφαλίζουν ομοιόμορφη ροή αερίου στην επιφάνεια του πλακιδίου κατά τη διάρκεια διεργασιών CVD, PVD ή ALD. Η υψηλή διηλεκτρική αντοχή της πλάκας (>15×10⁶ V/m) και η αντίσταση στο πλάσμα την καθιστούν απαραίτητη για την εναπόθεση λεπτής μεμβράνης ημιαγωγών.
-
Κεραμική υποστηρικτική καρφίτσα για εξαρτήματα ημιαγωγών
Οι κεραμικές ακίδες στήριξης της St.Cera (γνωστές και ως ακίδες ανύψωσης ή ακίδες στήριξης) χρησιμοποιούνται σε θαλάμους επεξεργασίας ημιαγωγών για την ανύψωση πλακιδίων ή υποστρωμάτων κατά τον χειρισμό, τη θέρμανση ή την ψύξη. Κατασκευασμένες από 99,8% αλουμίνα ή νιτρίδιο του πυριτίου, αυτές οι ακίδες προσφέρουν υψηλή αντοχή σε θλίψη, θερμική σταθερότητα και χημική αντοχή. Ο ημισφαιρικός ή επίπεδος σχεδιασμός της άκρης αποτρέπει τις γρατσουνιές στις πλακέτες.
