Κεραμική υποστηρικτική καρφίτσα για εξαρτήματα ημιαγωγών
Οι κεραμικές ακίδες στήριξης της St.Cera (γνωστές και ως ακίδες ανύψωσης ή ακίδες στήριξης) χρησιμοποιούνται σε θαλάμους επεξεργασίας ημιαγωγών για την ανύψωση πλακιδίων ή υποστρωμάτων κατά τον χειρισμό, τη θέρμανση ή την ψύξη. Κατασκευασμένες από 99,8% αλουμίνα ή νιτρίδιο του πυριτίου, αυτές οι ακίδες προσφέρουν υψηλή αντοχή σε θλίψη, θερμική σταθερότητα και χημική αντοχή. Ο ημισφαιρικός ή επίπεδος σχεδιασμός της άκρης αποτρέπει τις γρατσουνιές στις πλακέτες.
Προδιαγραφές(Αλουμίνα 99,8%):
| Ιδιοκτησία | Αξία |
| Υλικό | 99,8% Al₂O₃ ή Si₃N₄ |
| Μήκος | 10 – 100 χιλ. |
| Διάμετρος | 1 – 10 χιλ. |
| Σχήμα άκρης | Επίπεδο, ημισφαιρικό, μυτερό |
| Αντοχή σε θλίψη (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας (Al₂O₃) | 1600°C |
| Φινίρισμα επιφάνειας | Περιτυλιγμένο (Ra ≤0,4 μm) |
| Ανοχή στη διάμετρο | ±0,01 χιλ. |
Εφαρμογές:
Πείροι ανύψωσης σε θαλάμους CVD/PVD
Πείροι στήριξης για ψήσιμο σε θερμαινόμενη πλάκα
Δομές στήριξης κάρτας ανιχνευτή
Στηρίγματα σκαφών από φούρνο χαλαζία
Βιομηχανοποίηση:
Ακριβής λείανση χωρίς κέντρο εξωτερικής διατομής → λείανση με διαμάντι του προφίλ της άκρης → καθαρισμός με υπερήχους → έλεγχος διαστάσεων 100%.
Ποιοτικός έλεγχος:
CMM για μήκος/διάμετρο, οπτικός συγκριτής για ακτίνα άκρης, δοκιμή φορτίου για επαλήθευση της αντοχής σε θλίψη (τυχαίο δείγμα ανά παρτίδα). Απουσία σιδηρομαγνητικής μόλυνσης (επαληθευμένη με μαγνήτη).
Πλεονεκτήματα έναντι μεταλλικών ή χαλαζιακών καρφιών:
5 φορές μεγαλύτερη διάρκεια ζωής από το ανοξείδωτο ατσάλι
Δεν υπάρχει μεταλλική μόλυνση στον θάλαμο επεξεργασίας
Υψηλότερη ικανότητα θερμοκρασίας από τον χαλαζία (1600°C έναντι 1100°C)
Αντικολλητική επιφάνεια (μειωμένη πρόσφυση σωματιδίων)
Προσαρμογή:
Πολλαπλά προφίλ άκρων, βάση με σπείρωμα ή κωνικός άξονας.
Παρέχουμε επίσης ακίδες SiC για ακραία περιβάλλοντα πλάσματος.
