Πλάκα διανομής αερίου αλουμίνας για κεφαλή ντους CVD/PVD
Η πλάκα διανομής αερίου (κεφαλή ντους) της St.Cera είναι κατασκευασμένη με ακρίβεια από κεραμικό αλουμίνας υψηλής καθαρότητας 99,8%. Διαθέτει μια σειρά από μικροοπές (διαμέτρου 0,3–1,5 mm) που εξασφαλίζουν ομοιόμορφη ροή αερίου στην επιφάνεια του πλακιδίου κατά τη διάρκεια διεργασιών CVD, PVD ή ALD. Η υψηλή διηλεκτρική αντοχή της πλάκας (>15×10⁶ V/m) και η αντίσταση στο πλάσμα την καθιστούν απαραίτητη για την εναπόθεση λεπτής μεμβράνης ημιαγωγών.
Προδιαγραφές:
| Ιδιοκτησία | Αξία |
| Υλικό | 99,8% Al₂O₃ ή SiC |
| Διάμετρος | 100 – 1500mm (στρογγυλό) ή ορθογώνιο |
| Πάχος | 5 – 20 χιλ. |
| Διάμετρος τρύπας | 0,3 – 1,5 χιλ. |
| Μοτίβο τρύπας | Προσαρμοσμένο (τριγωνικό, τετράγωνο, ακτινικό) |
| Ομαλότητα | ≤10 μm σε ολόκληρη την περιοχή |
| Τραχύτητα επιφάνειας | Ra ≤0,6 μm (πλευρά αερίου) |
| Αναλογία ανοιχτής περιοχής | 5–15% |
Εφαρμογές:
Πλάκες ντους PECVD
Εγχυτήρες αερίου ALD
Πλάκες διανομής αερίου θαλάμου χάραξης
Εξαρτήματα αντιδραστήρα MOCVD
Βιομηχανοποίηση:
Επίπεδη λείανση υποστρώματος αλουμίνας → CNC τρύπημα με εργαλεία με διαμάντι (ανοχή θέσης οπής ±0,02 mm) → αφαίρεση γρεζιών → καθαρισμός με υπερήχους → συσκευασία κατηγορίας 100.
Ποιοτικός έλεγχος:
Κάθε πλάκα ελέγχεται 100% για το μέγεθος της οπής (σύστημα όρασης), την επιπεδότητα (συμβολόμετρο λέιζερ) και την ομοιομορφία της ροής αερίου (χαρτογράφηση πίεσης). Δεν υπάρχουν μικρορωγμές κάτω από μικροσκόπιο 20x.
Πλεονεκτήματα έναντι των μεταλλικών πλακών:
Καμία μεταλλική μόλυνση στις λεπτές μεμβράνες
Χαμηλότερη παραγωγή σωματιδίων (χωρίς νιφάδες διάβρωσης)
Αντέχει σε επιθετικά πλάσματα καθαρισμού (CF₄, NF₃)
Προσαρμοσμένες λειτουργίες:
Πίσω κανάλια αερίου, οπές με αντίθετη οπή, στεγανοποιήσεις ακμών και διαφορετικές ποιότητες υλικών (SiC για υψηλότερη θερμική αγωγιμότητα, επίστρωση Y₂O₃ για αντοχή στο πλάσμα).
Παρέχουμε επαλήθευση CAD και προσομοίωση ροής πριν από την κατασκευή.
