Δακτύλιος εστίασης θαλάμου αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για συστήματα χάραξης πλάσματος και καρδιαγγειακής νόσου

Ο δακτύλιος εστίασης θαλάμου της St.Cera είναι ένα κρίσιμο εξάρτημα του κιτ διεργασίας που χρησιμοποιείται σε εξοπλισμό ημιαγωγών χάραξης με πλάσμα, CVD και PVD. Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃), ο δακτύλιος περιβάλλει την άκρη της πλακέτας για να περιορίσει το πλάσμα και να βελτιστοποιήσει τη γωνιακή κατανομή ιόντων, βελτιώνοντας έτσι την ομοιομορφία χάραξης σε όλη την επιφάνεια της πλακέτας. Το υλικό προσφέρει εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα, υψηλή διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m) και θερμική σταθερότητα έως 1600°C, εξασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη αξιοπιστία σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος με βάση το φθόριο ή το χλώριο. Η ακριβής τριβή ID/OD και η επιπεδότητα (≤10 μm) επιτρέπουν την ακριβή τοποθέτηση της άκρης της πλακέτας, μειώνοντας τα ελαττώματα της άκρης και την παραγωγή σωματιδίων.

Προδιαγραφές(με βάση 99,8% Al)₂O₃):

Εφαρμογές:

• · Δακτύλιοι εστίασης θαλάμου διηλεκτρικής χάραξης (χάραξη οξειδίου, νιτριδίου)
• · Δακτύλιοι ακμής θαλάμου χάραξης σιλικόνης
• · Δακτύλιοι κιτ επεξεργασίας θαλάμου καρδιαγγειακών παθήσεων (CVD)
• · Θωράκιση θαλάμου PVD και δακτύλιοι σφιγκτήρα

Διαδικασία Παραγωγής:

Η σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας πιέζεται ισοστατικά → κατεργάζεται πράσινα σε σχεδόν καθαρό σχήμα → πυροσυσσωματώνεται στους 1600°C → λείανση με διαμάντι CNC για ID, OD και πάχος → λείανση για επίτευξη επιπεδότητας ≤10 μm → καθαρισμός με υπερήχους → έλεγχος 100% CMM. Το φινίρισμα επιφάνειας Ra ≤0,4 μm ελαχιστοποιεί την προσκόλληση σωματιδίων.

Ποιοτικός έλεγχος:

• · 100% έλεγχος διαστάσεων (ID, OD, πάχος, παραλληλισμός)
• · Δοκιμή διείσδυσης χρωστικής για μικρορωγμές (δεν επιτρέπονται ρωγμές)
• · Οπτική επιθεώρηση με μικροσκόπιο 20× — χωρίς ρωγμές, κενά ή αποχρωματισμό
• · Δοκιμή διηλεκτρικής αντοχής σύμφωνα με το πρότυπο ASTM D149 (δειγματοληψία)

Πλεονεκτήματα έναντι των δακτυλίων εστίασης από πυρίτιο ή χαλαζία:

• · 5–10 φορές μεγαλύτερη διάρκεια ζωής σε πλάσμα φθοράνθρακα
• · Δεν υπάρχουν αναλώσιμα σωματίδια διάβρωσης που να μολύνουν τις γκοφρέτες
• · Η υψηλότερη διηλεκτρική αντοχή αποτρέπει το σχηματισμό τόξου
• · Διατηρεί την επιπεδότητα και την ακρίβεια των διαστάσεων για χιλιάδες ώρες RF

Εναλλακτικό Υλικό — Σταθεροποιημένη με υττρία ζιρκονία (ZrO₂):

Για εφαρμογές που απαιτούν υψηλότερη αντοχή σε θραύση (π.χ., θάλαμοι με συχνούς θερμικούς κύκλους ή μηχανικούς κραδασμούς), διατίθενται δακτύλιοι εστίασης ZrO₂ (πυκνότητα 6,03 g/cm³, αντοχή σε κάμψη 1000 MPa, αντοχή σε θραύση 5–8 MPa·m¹/²). Ωστόσο, η αλουμίνα προσφέρει καλύτερη σχέση κόστους-αποτελεσματικότητας και αποτελεί το βιομηχανικό πρότυπο για τις περισσότερες εφαρμογές δακτυλίων εστίασης.

Προσαρμογή:

• · Προφίλ σκαλοπατιών, οπές ή οπές στερέωσης ανά σχέδιο πελάτη
• · Επίστρωση Y₂O₃ για βελτιωμένη αντοχή στη διάβρωση πλάσματος (πάχος 20–100 μm)
• · Σήμανση με λέιζερ του αριθμού εξαρτήματος, του κωδικού ημερομηνίας ή των σημαδιών ευθυγράμμισης

Σημείωμα:Όλα τα δεδομένα ακολουθούν αυστηρά τον παρεχόμενο πίνακα ιδιοτήτων Al₂O₃. Για τις προδιαγραφές του ZrO₂, ανατρέξτε στο παρεχόμενο φύλλο δεδομένων ζιρκονίου. Τα σχέδια δακτυλίων εστίασης ενδέχεται να απαιτούν άδεια ευρεσιτεχνίας — οι πελάτες είναι υπεύθυνοι για την επαλήθευση των δικαιωμάτων πνευματικής ιδιοκτησίας.