Κεραμικός δακτύλιος στεγανοποίησης αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για σφράγιση θαλάμου υψηλής θερμοκρασίας

Ο κεραμικός δακτύλιος στεγανοποίησης της St.Cera έχει σχεδιαστεί ως εναλλακτική λύση στους πολυμερείς δακτυλίους Ο σε ακραία περιβάλλοντα όπου τα ελαστομερή υποβαθμίζονται. Κατασκευασμένος από 99,8% αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (Al₂O₃), αυτός ο άκαμπτος δακτύλιος στεγανοποίησης χρησιμοποιείται σε εφαρμογές στατικής στεγανοποίησης — συνήθως σε συνδυασμό με ένα μαλακό μεταλλικό ή γραφιτικό παρέμβυσμα — για να παρέχει αξιόπιστη συγκράτηση κενού ή αερίου σε θερμοκρασίες έως 800°C και σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος ή χημικών. Το υλικό προσφέρει μηδενική απαγωγή αερίων, υψηλή αντοχή σε θλίψη (υποκείμενη αντοχή σε κάμψη 361 MPa) και χημική αδράνεια (ανθεκτική σε αλογόνα, οξέα και αλκάλια εκτός από HF). Οι επιφάνειες στεγανοποίησης με ακριβή επίστρωση (επιπεδότητα ≤5 μm, τραχύτητα επιφάνειας Ra ≤0,2 μm) εξασφαλίζουν στεγανή επαφή με τα μεταλλικά ή κεραμικά εξαρτήματα που συνδυάζονται.

Προδιαγραφές(με βάση 99,8% Al)₂O₃):

Εφαρμογές:

• · Στατικές σφραγίσεις θαλάμου ημιαγωγών (CVD, PVD, χάραξη)
• · Σφραγίδες πόρτας κλιβάνου υψηλής θερμοκρασίας
• · Φλάντζες τροφοδοσίας κενού
• · Κλεισίματα δοχείων χημικών αντιδραστήρων

Διαδικασία Παραγωγής:

Ισοστατική συμπίεση → πυροσυσσωμάτωση στους 1600°C → ακριβής λείανση διπλής όψης για την επίτευξη εξαιρετικά επίπεδων, λείων επιφανειών στεγανοποίησης → λοξοτομή ακμών → καθαρισμός με υπερήχους. Κάθε δακτύλιος έχει ελεγχθεί 100% για διαρροές σε ανιχνευτή διαρροών ηλίου με τυπική μεταλλική φλάντζα.

Ποιοτικός έλεγχος:

• · Έλεγχος διαστάσεων CMM (ID, OD, πάχος, παραλληλισμός)
• · Προφιλόμετρο επιφάνειας για Ra και κυματισμό
• · Μέτρηση επιπεδότητας χρησιμοποιώντας οπτικό επίπεδο
• · Δοκιμή διαρροής ηλίου (μέθοδος αντίθλιψης)

Πλεονεκτήματα έναντι των πολυμερικών δακτυλίων Ο:

• · Αντέχει σε 800°C έναντι <300°C για FFKM
• · Μηδενική έκλυση αερίων — καμία μόλυνση του περιβάλλοντος κενού
• · Ανθεκτικό σε όλες τις χημικές ουσίες πλάσματος (φθόριο, χλώριο, οξυγόνο)
• · Χωρίς συμπίεση ή μόνιμη παραμόρφωση
• · Απεριόριστη διάρκεια ζωής σε καθαρά περιβάλλοντα

Περιορισμοί (Κριτικές παρατηρήσεις):

• · Δεν είναι δακτύλιος Ο— είναι ένας άκαμπτος κεραμικός δακτύλιος που απαιτεί μια μαλακή φλάντζα (χαλκό, αλουμίνιο ή γραφίτη) για να σφραγιστεί.
• · Δεν δέχεται δυναμική κίνηση ή μεγάλη κακή ευθυγράμμιση φλάντζας.
• · Υψηλότερο αρχικό κόστος από τους πολυμερείς δακτυλίους Ο, αλλά η μεγαλύτερη διάρκεια ζωής μειώνει το κόστος ιδιοκτησίας.
• · Εύθραυστο — χειριστείτε το με προσοχή· αποφύγετε τις αιχμηρές κρούσεις ή την τάση κάμψης.

Σημείωμα:Τα παραπάνω δεδομένα ακολουθούν αυστηρά τον παρεχόμενο πίνακα ιδιοτήτων Al₂O₃. Δεν δόθηκαν δεδομένα για ελαστομερή υλικά. Αυτό το προϊόν είναι ένας στατικός δακτύλιος στεγανοποίησης, όχι ένας ελαστομερής δακτύλιος Ο. Επιβεβαιώστε εάν αυτό πληροί τις απαιτήσεις της εφαρμογής σας.