Τσοκ κενού με βάση το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) για περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και πλάσματος
Το κεραμικό τσοκ της St.Cera με βάση το SiC κατασκευάζεται από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας (παρτίδα S1111, SiC 99,72%, ελεύθερο Si 0,05%). Προσφέρει μετρούμενη αντοχή σε κάμψη 449 MPa, αντοχή σε θραύση 3,12 MPa·m¹/² και μέτρο ελαστικότητας 457 GPa. Η τυπική θερμική αγωγιμότητα του υλικού (120–150 W/m·K) και η χαμηλή θερμική διαστολή (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) επιτρέπουν την ταχεία αύξηση της θερμοκρασίας και την ελάχιστη στρέβλωση των πλακιδίων κατά τη διάρκεια του θερμικού κύκλου. Το τσοκ μπορεί να διαμορφωθεί ως πορώδες τσοκ κενού (ομοιόμορφη ροή αερίου) ή ως αυλακωτό τυπικό τσοκ. Με μέγιστη θερμοκρασία χρήσης 1600–1700°C (χωρίς φορτίο) και εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση πλάσματος, αυτό το τσοκ είναι ιδανικό για επεξεργασία πλακιδίων σε υψηλή θερμοκρασία (ανόπτηση, RTP) και επιθετικούς θαλάμους χάραξης όπου τα τσοκ αλουμίνας υποβαθμίζονται.
Προδιαγραφές(βάσει της παρεχόμενης αναφοράς δοκιμής SiC S1111 και των τυπικών τιμών)):
| Ιδιοκτησία | Αξία |
| Υλικό | SiC (99,72% SiC, 0,05% Ελεύθερο Si) |
| Πυκνότητα | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Απορρόφηση νερού | 0% |
| Αντοχή σε κάμψη | 449 MPa |
| Αντοχή σε θραύση | 3,12 MPa·m¹/² |
| Μέτρο ελαστικότητας | 457 GPA |
| Σκληρότητα Vickers | 25–28 GPA |
| Θερμική αγωγιμότητα | 120–150 W/m·K |
| Συντελεστής Θερμοκρασίας Διαστολής (CTE) (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Μέγιστη θερμοκρασία χρήσης (χωρίς φορτίο) | 1600–1700°C |
| Επιπεδότητα (πάνω από 300mm) | ≤5 μm |
| Φινίρισμα επιφάνειας | Ra ≤0,4 μm (περιτυλιγμένο) |
Εφαρμογές:
● Σύζευξη υψηλής θερμοκρασίας (ανόπτηση, RTP, επιταξιακή ανάπτυξη)
● Τσοκ χάραξης πλάσματος με υψηλή αντοχή στο φθόριο
● Χειρισμός λεπτών πλακιδίων με ομοιόμορφη θέρμανση/ψύξη
● Πορώδες τσοκ για στήριξη πλακιδίων χωρίς επαφή
Βιομηχανοποίηση:
Πυροσυσσωμάτωση SiC → ακριβής λείανση επιπεδότητας και προφίλ επιφάνειας → προαιρετικός σχηματισμός πορώδους δομής (για σφιγκτήρα κενού) → λείανση → καθαρισμός με υπερήχους. Κάθε σφιγκτήρας ελέγχεται 100% για επιπεδότητα (συμβολόμετρο λέιζερ) και ομοιομορφία κενού (δοκιμή ροής).
Ποιοτικός έλεγχος:
● Έλεγχος διαστάσεων CMM (διάμετρος, πάχος, θέσεις οπών)
● Μέτρηση επιπεδότητας σύμφωνα με ASTM
● Δοκιμή διαρροής ηλίου (για τσοκ κενού)
● Επαλήθευση αντοχής σε κάμψη ανά παρτίδα (αναφορά δοκιμής αναφοράς)
Πλεονεκτήματα έναντι των τσοκ αλουμίνας:
● Υψηλότερη θερμική αγωγιμότητα (120–150 έναντι 32 W/m·K για αλουμίνα) – 4 φορές ταχύτερη μεταφορά θερμότητας
● Χαμηλότερος συντελεστής θερμικής απόδοσης (CTE) (4,0 έναντι 7,2×10⁻⁶/℃) – μειώνει τη θερμική καταπόνηση των πλακιδίων
● Ανώτερη αντοχή στο πλάσμα – 10 φορές μεγαλύτερη διάρκεια ζωής σε χάραξη με φθόριο
● Υψηλότερη μέγιστη θερμοκρασία χρήσης (1600°C έναντι 800°C για αλουμίνα)
Προσαρμογή:
● Πορώδης ή αυλακωτή επιφάνεια
● Διάμετρος 100–450 mm, στρογγυλό ή τετράγωνο
● Δακτύλιος στεγανοποίησης άκρων ή χωρίσματα κενού ζώνης
● Επιλογή μεταλλικής υποστήριξης για τοποθέτηση υψηλής ακαμψίας
Όλα τα παραπάνω μηχανικά δεδομένα προέρχονται από την παρεχόμενη αναφορά δοκιμής (παρτίδα S1111). Οι θερμικές τιμές και οι τιμές σκληρότητας είναι τυπικές για αυτήν την ποιότητα SiC. Τα πορώδη τσοκ SiC απαιτούν πρόσθετη επεξεργασία. Παρακαλούμε ρωτήστε για τη διαθεσιμότητα συγκεκριμένου πορώδους και μεγέθους πόρων.
