Κεραμικός δακτύλιος αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για θαλάμους διεργασίας CVD / PVD

Ο κεραμικός δακτύλιος της St.Cera έχει σχεδιαστεί ειδικά για χρήση σε θαλάμους διεργασίας CVD (Χημική Εναπόθεση Ατμών) και PVD (Φυσική Εναπόθεση Ατμών). Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃), αυτός ο δακτύλιος χρησιμεύει ως επένδυση θαλάμου, δακτύλιος εστίασης ή εξάρτημα κιτ διεργασίας για τον περιορισμό του πλάσματος και την προστασία των τοιχωμάτων του θαλάμου από τη διάβρωση. Το υλικό προσφέρει εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα, υψηλή διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m) και θερμική σταθερότητα έως 1600°C, εξασφαλίζοντας μεγάλη διάρκεια ζωής σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος με βάση το φθόριο. Οι ακριβείς ανοχές διαστάσεων (±0,05 mm σε Εσωτερική/Εξωτερική Διάμετρο) και η επιπεδότητα (≤10 μm) επιτρέπουν τη συνεπή τοποθέτηση των άκρων των πλακιδίων, βελτιώνοντας την ομοιομορφία της εναπόθεσης και μειώνοντας την παραγωγή σωματιδίων.

Προδιαγραφές (με βάση 99,8% Al₂O₃):

Εφαρμογές:

• · Δακτύλιοι εστίασης θαλάμου καρδιαγγειακών παθήσεων και δακτύλιοι ακμής
• · Δακτύλιοι θωράκισης θαλάμου PVD και δακτύλιοι σφιγκτήρα
• · Επενδύσεις θαλάμου χάραξης και δακτύλιοι κάλυψης
• · Δακτύλιοι περιορισμού πλάσματος σε συστήματα διηλεκτρικής χάραξης

Διαδικασία Παραγωγής:

Ισοστατική συμπίεση → πράσινη κατεργασία → πυροσυσσωμάτωση στους 1600°C → λείανση CNC ID/OD → λείανση επιφάνειας → καθαρισμός με υπερήχους → έλεγχος 100% CMM. Το εξαιρετικά λείο φινίρισμα επιφάνειας (Ra ≤0,4 μm) ελαχιστοποιεί την προσκόλληση σωματιδίων.

Ποιοτικός έλεγχος:

• · 100% έλεγχος διαστάσεων (ID, OD, πάχος, επιπεδότητα)
• · Έλεγχος διεισδυτικού χρωστικού για επιφανειακές μικρορωγμές
• · Δοκιμή διηλεκτρικής αντοχής σύμφωνα με ASTM D149
• · Δεν υπάρχει ορατός αποχρωματισμός ή πορώδες υπό μικροσκόπιο 20×

Πλεονεκτήματα έναντι μεταλλικών ή χαλαζιακών δαχτυλιδιών:

• · 5–10 φορές μεγαλύτερη διάρκεια ζωής από τους δακτυλίους αλουμινίου σε πλάσμα φθορίου
• · Καμία μεταλλική μόλυνση στις λεπτές μεμβράνες
• · Υψηλότερη αντοχή στο πλάσμα από τον χαλαζία (χωρίς κοιλότητες διάβρωσης)
• · Διατηρεί ηλεκτρική μόνωση >10¹⁴ Ω·cm ακόμα και μετά από μακροχρόνια χρήση

Εναλλακτικό Υλικό — Νιτρίδιο του πυριτίου (Si₃N₄):

Για εφαρμογές που απαιτούν ακόμη υψηλότερη αντοχή σε θραύση (6,2 MPa·m¹/²) και καλύτερη αντοχή σε θερμικό σοκ (συντελεστής διαστολής 3,2×10⁻⁶/℃), διατίθενται δακτύλιοι Si₃N₄. Ωστόσο, η αλουμίνα είναι πιο οικονομική για τις περισσότερες εφαρμογές CVD/PVD. Παρακαλούμε προσδιορίστε το υλικό που προτιμάτε κατά την παραγγελία.

Προσαρμογή:

• · Διαμπερείς οπές, βαθμιδωτά προφίλ ή οπές για τοποθέτηση
• · Επιφάνεια με επικάλυψη Y₂O₃ για βελτιωμένη αντοχή στο πλάσμα (προαιρετικά)
• · Χάραξη με λέιζερ του αριθμού εξαρτήματος / κωδικού παρτίδας

Σημείωμα:Τα παραπάνω δεδομένα ακολουθούν αυστηρά τον παρεχόμενο πίνακα ιδιοτήτων Al₂O₃. Για τους δακτυλίους Si₃N₄, ανατρέξτε στο ξεχωριστό φύλλο δεδομένων Si₃N₄ που παρέχεται.