-
Κεραμικά μέρη δακτυλίου υψηλής ακρίβειας αλουμίνας
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικά τσοκ προσαρμοσμένου ημιαγωγού ST.CERA
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικός τελικός τελεστής από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) – Υψηλή ακαμψία για χειρισμό πλακιδίων υψηλής θερμοκρασίας
Ο κεραμικός τελεστής SiC της St.Cera κατασκευάζεται από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας (περιεκτικότητα σε SiC 99,72%, ελεύθερο Si 0,05%) χρησιμοποιώντας το υλικό παρτίδας S1111. Προσφέρει εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες: αντοχή σε κάμψη 449 MPa (μετρούμενη), μέτρο ελαστικότητας 457 GPa (μετρούμενη) και σκληρότητα Vickers 25–28 GPa (τυπική). Η χαμηλή πυκνότητα (3,10–3,15 g/cm³, τυπική) παρέχει υψηλή ειδική ακαμψία, ιδανική για ρομπότ μεταφοράς πλακιδίων υψηλής ταχύτητας. Με θερμική αγωγιμότητα 120–150 W/m·K (τυπική) και συντελεστή θερμικής διαστολής 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (τυπικός), αυτός ο τελεστής διαχέει αποτελεσματικά τη θερμότητα και διατηρεί διαστατική σταθερότητα κατά τον χειρισμό σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 1600–1700°C, χωρίς φορτίο). Το μαύρο/γκρι χρώμα και η μηδενική απορρόφηση νερού εξασφαλίζουν συμβατότητα με καθαρό χώρο.
-
Τσοκ κενού με βάση το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) για περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και πλάσματος
Το κεραμικό τσοκ της St.Cera με βάση το SiC κατασκευάζεται από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας (παρτίδα S1111, SiC 99,72%, ελεύθερο Si 0,05%). Προσφέρει μετρούμενη αντοχή σε κάμψη 449 MPa, αντοχή σε θραύση 3,12 MPa·m¹/² και μέτρο ελαστικότητας 457 GPa. Η τυπική θερμική αγωγιμότητα του υλικού (120–150 W/m·K) και η χαμηλή θερμική διαστολή (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) επιτρέπουν την ταχεία αύξηση της θερμοκρασίας και την ελάχιστη στρέβλωση των πλακιδίων κατά τη διάρκεια του θερμικού κύκλου. Το τσοκ μπορεί να διαμορφωθεί ως πορώδες τσοκ κενού (ομοιόμορφη ροή αερίου) ή ως αυλακωτό τυπικό τσοκ. Με μέγιστη θερμοκρασία χρήσης 1600–1700°C (χωρίς φορτίο) και εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση πλάσματος, αυτό το τσοκ είναι ιδανικό για επεξεργασία πλακιδίων σε υψηλή θερμοκρασία (ανόπτηση, RTP) και επιθετικούς θαλάμους χάραξης όπου τα τσοκ αλουμίνας υποβαθμίζονται.
-
Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμικά ανταλλακτικά Κεραμικοί φορείς
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικός δακτύλιος λείανσης αλουμίνας με μεταλλική υποστήριξη για εφαρμογές λείανσης υψηλής ακαμψίας
Ο δακτύλιος λείανσης αλουμίνας με βάση το μέταλλο της St.Cera συνδυάζει ένα κεραμικό στρώμα φθοράς από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (99,8% Al₂O₃) με ένα μεταλλικό υπόστρωμα ακριβείας (συνήθως αλουμίνιο ή ανοξείδωτο χάλυβα). Αυτός ο υβριδικός σχεδιασμός παρέχει την εξαιρετική αντοχή στη φθορά και τη χημική αδράνεια του κεραμικού στην επιφάνεια λείανσης, ενώ η μεταλλική βάση προσθέτει μηχανική αντοχή, εύκολη τοποθέτηση και αντοχή σε εύθραυστη θραύση. Το στρώμα αλουμίνας προσφέρει αντοχή σε κάμψη 361 MPa, σκληρότητα Vickers 16 GPa και θερμική σταθερότητα έως 800°C. Η μεταλλική βάση είναι προσαρμοσμένη με οπές στερέωσης, πείρους τοποθέτησης ή μαγνητικές ιδιότητες για ενσωμάτωση σε μηχανές λείανσης, πλανητικούς λειαντήρες και εξοπλισμό CMP.
-
Κεραμικά ανταλλακτικά για εξοπλισμό σταθμού ημιαγωγών ανιχνευτών
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Προσαρμοσμένη επεξεργασία κεραμικού τσοκ γκοφρέτας Al2O3
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμική πλάκα προσαρμοσμένου ημιαγωγού ST.CERA
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Τσοκ κενού αλουμίνας 12 ιντσών για επεξεργασία πλακιδίων 300 mm
Το τσοκ κενού 12 ιντσών της St.Cera είναι κατασκευασμένο με ακρίβεια από 99,8% αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (Al₂O₃) για χειρισμό πλακιδίων 300 mm. Το τσοκ διαθέτει λεπτή αυλακωτή επιφάνεια (πλάτος αυλάκωσης 0,5–1,0 mm, βήμα 2–3 mm) για να διασφαλίζεται ομοιόμορφη κατανομή κενού σε ολόκληρη τη διάμετρο των 300 mm. Η επιπεδότητα διατηρείται εντός 5 μm, επιτρέποντας τη στερέωση των πλακιδίων χωρίς στρέβλωση κατά την κοπή σε κύβους, την άλεση από πίσω και την επιθεώρηση. Η υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa) και η σκληρότητα (16 GPa) του υλικού εγγυώνται μακροπρόθεσμη σταθερότητα διαστάσεων ακόμη και υπό επαναλαμβανόμενους κύκλους κενού.
-
Κεραμικός τελικός τελεστής αλουμίνας με ενσωματωμένα κανάλια κενού
Το τελικό στοιχείο κενού αλουμίνας της St.Cera ενσωματώνει κανάλια κενού και οπές αναρρόφησης με ακρίβεια κατεργασίας απευθείας στο σώμα αλουμίνας υψηλής καθαρότητας 99,8%. Αυτός ο σχεδιασμός εξαλείφει τα εξωτερικά μαξιλαράκια κενού, επιτρέποντας την άμεση συλλογή των πλακιδίων με ομοιόμορφη δύναμη συγκράτησης. Η υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa) και η σκληρότητα (16 GPa) του υλικού εξασφαλίζουν μακροπρόθεσμη διαστατική σταθερότητα υπό επαναλαμβανόμενους κύκλους κενού. Η επιπεδότητα στην περιοχή του μαξιλαριού διατηρείται εντός 10 μm, αποτρέποντας την τάση και το σπάσιμο των πλακιδίων. Οι θύρες κενού βρίσκονται στην πίσω φλάντζα στήριξης για εύκολη ενσωμάτωση με τους ρομποτικούς βραχίονες OEM.
-
Αντηλιακά κεραμικά μέρη αλουμίνας ασφαλή για ηλεκτροστατική εκκένωση για χειρισμό πλακιδίων ευαίσθητων στον στατικό ηλεκτρισμό
Τα κεραμικά εξαρτήματα αλουμίνας ασφαλή για ηλεκτροστατική εκκένωση (ESD) της St.Cera κατασκευάζονται από Al₂O₃ υψηλής καθαρότητας 99,8% με προσαρμοσμένη επιφανειακή αντίσταση 10⁶–10⁹ Ω/τετρ. μέτρο, η οποία επιτυγχάνεται μέσω μιας ιδιόκτητης διαδικασίας πρόσμιξης ή επίστρωσης. Αυτά τα εξαρτήματα διαχέουν αποτελεσματικά το στατικό φορτίο, αποτρέποντας ηλεκτροστατική βλάβη σε ευαίσθητες πλακέτες και συσκευές ημιαγωγών. Το βασικό υλικό διατηρεί την υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa), τη σκληρότητα (16 GPa) και τη διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m). Τα κεραμικά εξαρτήματα ασφαλή για ESD περιλαμβάνουν ακραίους ενεργοποιητές, πείρους ανύψωσης, οδηγούς και προσαρμοσμένα εξαρτήματα για αυτοματισμό FAB.
