-
Ρομποτικός βραχίονας κεραμικού αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για χειρισμό πλακιδίων
Ο βραχίονας ρομπότ από κεραμικό αλουμίνας της St.Cera είναι κατασκευασμένος με ακρίβεια από 99,8% Al₂O₃ (αλουμίνα) υψηλής καθαρότητας. Συνδυάζει εξαιρετική αντοχή σε κάμψη (361 MPa), υψηλή σκληρότητα (16 GPa) και χαμηλή πυκνότητα (3,93 g/cm³), με αποτέλεσμα έναν ελαφρύ αλλά άκαμπτο βραχίονα για μεταφορά πλακιδίων ημιαγωγών. Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του υλικού (7,2×10⁻⁶/°C) ταιριάζει απόλυτα με το πυρίτιο, ελαχιστοποιώντας τη θερμική αναντιστοιχία κατά την επεξεργασία.
-
Κεραμικός τελεστής τελών Bernoulli — Χειρισμός πλακιδίων χωρίς επαφή για λεπτά και εύθραυστα πλακίδια
Ο κεραμικός τελεστής end effector Bernoulli της St.Cera χρησιμοποιεί αεροδυναμική ανύψωση για τον χειρισμό πλακιδίων χωρίς φυσική επαφή. Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃) ή καρβίδιο του πυριτίου (SiC), διαθέτει ακροφύσια ακριβείας που εκτοξεύουν πεπιεσμένο αέριο για να δημιουργήσουν ένα λεπτό φιλμ αέρα μεταξύ του end effector και του πλακιδίου. Αυτή η αρχή μη επαφής εξαλείφει τη μόλυνση του πίσω μέρους, το ξεφλούδισμα των άκρων και τις επιφανειακές ζημιές, καθιστώντας τον ιδανικό για λεπτά (≤100 μm), εύθραυστα ή στρεβλωμένα πλακίδια. Το κεραμικό υπόστρωμα παρέχει υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa για Al₂O₃· έως 550–600 MPa για SiC), χαμηλή μάζα και εξαιρετική διαστατική σταθερότητα, εξασφαλίζοντας επαναλήψιμη τοποθέτηση σε ρομπότ μεταφοράς πλακιδίων υψηλής ταχύτητας.
-
Κεραμικό τελικό στοιχείο με επικάλυψη τεφλόν – Αντικολλητική επιφάνεια για ευαίσθητο χειρισμό πλακιδίων
Το κεραμικό τελικό ενισχυτικό στοιχείο St.Cera με επικάλυψη Teflon (PTFE) συνδυάζει ένα υπόστρωμα αλουμίνας υψηλής αντοχής με μια ομοιόμορφη επίστρωση PTFE χαμηλής τριβής (πάχος 15–30 μm). Η επίστρωση παρέχει εξαιρετικά χαμηλό συντελεστή τριβής (≤0,1), εξαιρετική χημική αντοχή και αντικολλητικές ιδιότητες, αποτρέποντας την προσκόλληση των πλακιδίων και εξαλείφοντας τη μόλυνση της πίσω πλευράς. Το υποκείμενο κεραμικό υπόστρωμα (99,8% Al₂O₃) προσφέρει υψηλή αντοχή σε κάμψη (361–1000 MPa), αντοχή στη φθορά και θερμική σταθερότητα έως 260°C (όριο επίστρωσης). Αυτό το τελικό ενισχυτικό στοιχείο είναι ιδανικό για το χειρισμό ευαίσθητων, λεπτών ή κολλωδών πλακιδίων (π.χ., μετά από επίστρωση φωτοευαίσθητου υλικού ή χημικές διεργασίες).
