Ρομποτικός βραχίονας κεραμικού αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για χειρισμό πλακιδίων
Ο βραχίονας ρομπότ από κεραμικό αλουμίνας της St.Cera είναι κατασκευασμένος με ακρίβεια από 99,8% Al₂O₃ (αλουμίνα) υψηλής καθαρότητας. Συνδυάζει εξαιρετική αντοχή σε κάμψη (361 MPa), υψηλή σκληρότητα (16 GPa) και χαμηλή πυκνότητα (3,93 g/cm³), με αποτέλεσμα έναν ελαφρύ αλλά άκαμπτο βραχίονα για μεταφορά πλακιδίων ημιαγωγών. Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του υλικού (7,2×10⁻⁶/°C) ταιριάζει απόλυτα με το πυρίτιο, ελαχιστοποιώντας τη θερμική αναντιστοιχία κατά την επεξεργασία.
Προδιαγραφές (με βάση 99,8% Al₂O₃):
| Ιδιοκτησία | Αξία |
| Χρώμα | Ελεφαντόδοντο |
| Πυκνότητα | 3,93 g/cm³ |
| Αντοχή σε κάμψη | 361 MPa |
| Σκληρότητα Vickers | 16 GPA |
| Μέτρο Young | 380 GPa |
| Θερμική αγωγιμότητα | 32 W/m·k |
| Θερμική διαστολή | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Διηλεκτρική αντοχή | 15×10⁶ V/m |
Εφαρμογές:
- Ρομπότ μεταφοράς πλακιδίων κενού (200mm/300mm)
- Συστήματα ατμοσφαιρικής διαχείρισης
- Βραχίονες τελικής ενεργοποίησης για αυτοματοποίηση FAB
Διαδικασία Παραγωγής:
Ισοστατική συμπίεση → πράσινη κατεργασία → πυροσυσσωμάτωση στους 1600°C → λείανση ακριβείας CNC → καθαρισμός με υπερήχους → συσκευασία καθαρού χώρου κατηγορίας 100. Κάθε βραχίονας ελέγχεται 100% από την CMM για επιπεδότητα (±0,01 mm) και τραχύτητα επιφάνειας (Ra ≤0,4 μm).
Ποιοτικός έλεγχος:
Η St.Cera είναι πιστοποιημένη κατά ISO 9001:2015. Πραγματοποιούμε δοκιμές διείσδυσης χρωστικής για μικρορωγμές, κάμψη τριών σημείων για αντοχή σε κάμψη και δοκιμή διηλεκτρικής αντοχής σύμφωνα με το ASTM D149.
Πλεονεκτήματα έναντι των μεταλλικών βραχιόνων:
- 50% ελαφρύτερο από το ανοξείδωτο ατσάλι
- Χωρίς γαλβανική διάβρωση
- Χαμηλότερη παραγωγή σωματιδίων (≤0,05 σωματίδια/cm²)
- Διαθέσιμη επίστρωση ασφαλούς ηλεκτροστατικής εκκένωσης (10⁶–10⁹ Ω/τετρ.)
Προσαρμογή:
Μήκη από 150mm έως 450mm, σχήματα άκρων (λαβή ακμής, Bernoulli, κενό αέρος) και σχέδια φλάντζας στήριξης σύμφωνα με σχέδια OEM. Πρωτότυπα σε 2 εβδομάδες.
Για μαζικές παραγγελίες, ζητήστε προσφορά.
