-
ST.CERA Εξοπλισμός ημιαγωγών με προσαρμοσμένο εξοπλισμό Κεραμικά τσοκ
Η κρίσιμη διεργασία του ημιαγωγικού πεδίου πρέπει να πραγματοποιείται σε καθαρό χώρο, ειδικά για εκείνες τις συσκευές που πρέπει να χρησιμοποιούνται υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού και διαβρωτικού αερίου. Τα κεραμικά μπορούν να διατηρήσουν υψηλή σταθερότητα σε περίπλοκο φυσικό και χημικό περιβάλλον.
-
ST.CERA Εξατομικευμένος εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμική πλάκα
Η κρίσιμη διεργασία του ημιαγωγικού πεδίου πρέπει να πραγματοποιείται σε καθαρό χώρο, ειδικά για εκείνες τις συσκευές που πρέπει να χρησιμοποιούνται υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού και διαβρωτικού αερίου. Τα κεραμικά μπορούν να διατηρήσουν υψηλή σταθερότητα σε περίπλοκο φυσικό και χημικό περιβάλλον.
-
ST.CERA Προσαρμοσμένος ημιαγωγός κεραμικός δακτύλιος εστίασης
Η κρίσιμη διεργασία του ημιαγωγικού πεδίου πρέπει να πραγματοποιείται σε καθαρό χώρο, ειδικά για εκείνες τις συσκευές που πρέπει να χρησιμοποιούνται υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού και διαβρωτικού αερίου. Τα κεραμικά μπορούν να διατηρήσουν υψηλή σταθερότητα σε περίπλοκο φυσικό και χημικό περιβάλλον.
-
ST.CERA Προσαρμοσμένος βραχίονας φορτωτή από κεραμικό αλουμίνα 99,5%
Ο κεραμικός βραχίονας χειρισμού / χειρισμού wafer εγκαθίσταται σε ρομπότ χειρισμού πλακιδίων ή σε «τελικούς βραχίονες» και χρησιμοποιείται για τη μεταφορά πλακιδίων πυριτίου εντός ή εκτός κασετών ή θαλάμων επεξεργασίας.
Τα οφέλη από τη χρήση κεραμικών είναι η μείωση της παραμόρφωσης λόγω της υψηλής αντοχής σε κάμψη, η αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και η εξάλειψη της μεταλλικής μόλυνσης και των σωματιδίων. -
ST.CERA Προσαρμοσμένος κεραμικός τελεστής τελών αλουμίνας
Η ST.CERA προσφέρει επίστρωση ESD και κεραμικό υλικό ESD. Τελικός τελεστής κατασκευασμένος από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένος με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, πυροσυσσωμάτωση σε υψηλή θερμοκρασία και φινίρισμα ακριβείας, μπορεί να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
ST.CERA Προσαρμοσμένος Κεραμικός Δακτύλιος Εστίασης Ημιαγωγών
Κατασκευασμένα από κεραμικό αλουμίνας υψηλής καθαρότητας (πάνω από 99,5%), διαμορφωμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωματωμένα υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να καλύψουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις του εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης.
Με χαρακτηριστικά αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχής στη διάβρωση, αντοχής στην τριβή και μόνωσης, η κεραμική μπορεί να λειτουργήσει σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών με συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
ST.CERA Προσαρμοσμένη ημιαγωγική κεραμική αλουμίνα ακριβείας
Κατασκευασμένα από κεραμικό αλουμίνας υψηλής καθαρότητας (πάνω από 99,5%), διαμορφωμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωματωμένα υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να καλύψουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις του εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης.
Με χαρακτηριστικά αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχής στη διάβρωση, αντοχής στην τριβή και μόνωσης, η κεραμική μπορεί να λειτουργήσει σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών με συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
ST.CERA Προσαρμοσμένη κεραμική αλουμίνα κενού τελεστής
Πρόκειται για έναν κεραμικό βραχίονα χειρισμού / τελικού ενεργοποιητή τύπου δίσκου που χρησιμοποιείται υπό συνθήκες κενού.
Ο κεραμικός βραχίονας χειρισμού / τελών είναι «πιο ανθεκτικός στη θερμότητα», «λιγότερο εκτρεπτικός» και «ελαφρύτερος» σε βάρος σε σύγκριση με τους μεταλλικούς.
Με χαρακτηριστικά αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχής στη διάβρωση, αντοχής στην τριβή και μόνωσης, η κεραμική μπορεί να λειτουργήσει σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών με συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
ST.CERA Προσαρμοσμένοι κεραμικοί σωλήνες και κεραμικές ράβδοι αλουμίνας 99,5%
Με χαρακτηριστικά αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχής στη διάβρωση, αντοχής στην τριβή και μόνωσης, η κεραμική μπορεί να λειτουργήσει σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών με συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Χειρισμός πλακιδίων κεραμικού τελικού τελεστή αλουμίνας προσαρμοσμένου ST.CERA
Η ST.CERA προσφέρει επίστρωση ESD και κεραμικό υλικό ESD, βραχίονα χειρισμού / τελικού ενεργοποιητή με ενσωματωμένο κοίλο κανάλι. Ειδικευόμαστε σε μια τεχνική που σχηματίζει ένα κανάλι κενού αέρα μέσα σε ένα ενιαίο κομμάτι υλικού χωρίς τη χρήση κόλλας.
Δεν υπάρχει κίνδυνος ρύπων, απαγωγής αερίων ή σωματιδίων. Ο βραχίονας χειρισμού/τελικού ενεργοποιητή κενού της ST.CERA με τεχνολογία ειδικής επίστρωσης είναι ηλεκτρικά μονωμένος. Μπορούμε επίσης να παρέχουμε κεραμικό υλικό ESD που είναι ηλεκτρικά μονωμένο χωρίς καμία επίστρωση.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃. -
Εξαρτήματα εξοπλισμού ημιαγωγών κεραμικού τελικού τελεστή αλουμίνας
Αποτρέψτε τα σωματίδια που μπορούν να δημιουργηθούν από τις λοξοτομημένες ή γωνιακές άκρες και την πίσω επιφάνεια κατά τη μεταφορά των πλακιδίων ή κατά την επαφή τους με τον βραχίονα χειρισμού / τον ακραίο βραχίονα.
Για τους οδηγούς, υιοθετήθηκε ένα μαλακό υλικό που δεν καταστρέφει την πλακέτα.
Η αραίωση είναι δυνατή με την ενσωματωμένη τεχνολογία καναλιών κενού της ST.CERA που δεν χρησιμοποιεί κόλλες.
Είναι δυνατή η δημιουργία οπών στερέωσης και η αλλαγή του μήκους και του πλάτους της βάσης όπου τοποθετείται ο ακραίος βραχίονας / βραχίονας χειρισμού στο ρομπότ.
Η τοποθέτηση αισθητήρων, βιδών και στηριγμάτων διατίθεται προαιρετικά.
Σχεδιασμένο για χρήση σε ατμόσφαιρα.
-
Προσαρμοσμένη κατεργασία CNC του κεραμικού τελικού τελεστή St.Cera
Η ST.CERA προσφέρει έναν κεραμικό βραχίονα χειρισμού / τελοκινητήρα κενού με ενσωματωμένο κοίλο κανάλι. Ειδικευόμαστε σε μια τεχνική που σχηματίζει ένα κανάλι αέρα κενού μέσα σε ένα ενιαίο κομμάτι υλικού χωρίς τη χρήση κόλλας.
Δεν υπάρχει κίνδυνος ρύπων, απαγωγής αερίων ή σωματιδίων. Ο βραχίονας χειρισμού / τελικού ενεργοποιητή κενού της ST.CERA με ενσωματωμένο κανάλι είναι ανθεκτικός και μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε υψηλές θερμοκρασίες. Επιπλέον, το κόστος κατασκευής μας μπορεί να μειωθεί εξαλείφοντας την περιττή συναρμολόγηση.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
