Τσιμπίδα κενού SiC με μεταλλική υποστήριξη από πορώδες υλικό για χειρισμό στρεβλωμένων και λεπτών πλακιδίων
Το μεταλλικό κεραμικό τσοκ κενού της St.Cera συνδυάζει ένα πορώδες κεραμικό στρώμα από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) με μια μεταλλική βάση ακριβείας (αλουμίνιο ή ανοξείδωτο χάλυβα). Το πορώδες υλικό SiC (μπλε-μαύρο, πορώδες 35–40%, μέγεθος πόρων 20–30 μm, διαπερατότητα 60 ml/cm²·min) παρέχει ομοιόμορφη, απαλή κατανομή κενού σε ολόκληρη την επιφάνεια της πλακέτας, εξαλείφοντας τα σημάδια στις άκρες και επιτρέποντας την ανέπαφη στήριξη για λεπτά (≤100 μm) ή στρεβλωμένα πλακίδια. Το στρώμα SiC προσφέρει χαμηλή θερμική διαστολή (3,5×10⁻⁶/℃), θερμική σταθερότητα έως 1000°C και μέτρια αντοχή σε κάμψη (32–35 MPa). Η μεταλλική βάση προσθέτει δομική ακαμψία, εύκολη τοποθέτηση μέσω οπών με σπείρωμα και προστασία από εύθραυστα θραύσματα. Αυτό το τσοκ είναι ιδανικό για λείανση με ανάποδη πλευρά, κοπή σε κύβους και επεξεργασία πλακιδίων υψηλής θερμοκρασίας, όπου το ομοιόμορφο κενό και η θερμική συμβατότητα είναι κρίσιμα.
Προδιαγραφές (βάσει των παρεχόμενων δεδομένων για το πορώδες SiC):
| Ιδιοκτησία | Αξία |
| Κεραμικό υλικό | Πορώδες καρβίδιο του πυριτίου (SiC ≥80%) |
| Χρώμα | Μπλε-μαύρο |
| Αραιότητα της ύλης | 35–40% |
| Μέγεθος πόρων | 20–30 μm |
| Πυκνότητα | 2,1–2,3 g/cm³ |
| Διαπερατό | 60 ml/cm²·λεπτό |
| Αντοχή σε κάμψη | 32–35 MPa |
| Συντελεστής θερμικής διαστολής (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας | 1000°C |
| Ηλεκτρική Αντίσταση | 10⁻¹⁰ Ω/cm (σύμφωνα με τα παρεχόμενα δεδομένα, τυπικό για πορώδες SiC) |
| Υλικό βάσης μετάλλου | Αλουμίνιο 6061 ή ανοξείδωτο χάλυβα 304 (προαιρετικά) |
| Πάχος μεταλλικής βάσης | 10–30 mm (προσαρμοσμένο) |
Σημείωση: Η αντοχή σε κάμψη είναι χαμηλότερη από το πυκνό SiC λόγω του πορώδους. Οι ιδιότητες της μεταλλικής βάσης δεν προέρχονται από κεραμικά τραπέζια.
Εφαρμογές:
- · Λείανση λεπτών πλακιδίων (≤100 μm) από πίσω
- · Στρεφόμενη βάση για κοπή σε κύβους
- · Εκτόξευση πλακιδίων υψηλής θερμοκρασίας (έως 1000°C)
- · Στερέωση κενού για πορώδη ή εύθραυστα υποστρώματα
Βιομηχανοποίηση:
Πορώδης πλάκα SiC (διαμορφωμένη με διαμορφωτές πόρων, πυροσυσσωματωμένη) → επικαλυμμένη σε επίπεδο πάχος ≤10 μm → μεταλλική βάση κατεργασμένη με θύρες κενού και χαρακτηριστικά στήριξης → εποξειδική συγκόλληση ή μηχανική σύσφιξη → δοκιμή διαρροής ηλίου.
Ποιοτικός έλεγχος:
- · Πορώδες και μέγεθος πόρων επαληθευμένα με SEM
- · Δοκιμή διαπερατότητας (ροή αέρα)
- · Η επιπεδότητα μετρήθηκε με συμβολόμετρο λέιζερ
- · Ρυθμός διαρροής ηλίου <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Πλεονεκτήματα έναντι των αυλακωτών ή πυκνών κεραμικών τσοκ:
- · Χωρίς σημάδια πλακιδίων – ομοιόμορφο κενό χωρίς διακριτές οπές
- · Αυτοκαθαριζόμενοι πόροι – μειωμένη απόφραξη
- · Χειρίζεται στρεβλωμένες γκοφρέτες (καμπύλη έως 500 μm)
- · Η μεταλλική βάση αποτρέπει την εύθραυστη θραύση και απλοποιεί την ενσωμάτωση
Περιορισμοί:
- · Χαμηλότερη αντοχή σε κάμψη (32–35 MPa) – αποφυγή κρουστικής καταπόνησης
- · Η θερμοκρασία λειτουργίας περιορίζεται στους 1000°C (πορώδες SiC), αλλά η σύνδεση εποξειδικής βάσης μετάλλου περιορίζεται στους ≤200°C, εκτός εάν στερεωθεί μηχανικά
- · Δεν είναι κατάλληλο για κενό υψηλής πίεσης (η πορώδης δομή περιορίζει τη μέγιστη διαφορά κενού)
Προσαρμογή:
- · Μεταλλική βάση: αλουμίνιο (ελαφρύ), ανοξείδωτο ατσάλι (ανθεκτικό στη διάβρωση), Invar (χαμηλής διαστολής)
- · Συγκόλληση: εποξειδική ρητίνη (≤200°C) ή μηχανική σφιγκτήρας (έως 500°C)
- · Δακτύλιος στεγανοποίησης ακμής για έλεγχο κενού ζώνης
Σημείωση: Η παρεχόμενη αντοχή σε κάμψη (32–35 MPa) είναι σημαντικά χαμηλότερη από αυτή των πυκνών κεραμικών λόγω του πορώδους. Χειριστείτε με προσοχή για να αποφύγετε το ξεφλούδισμα των άκρων.
