Δακτύλιος μόνωσης αλουμίνας PVD για συστήματα φυσικής εναπόθεσης ατμών

Ο μονωτικός δακτύλιος PVD της St.Cera κατασκευάζεται από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃) για χρήση σε συστήματα φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD). Ο δακτύλιος παρέχει ηλεκτρική απομόνωση μεταξύ των εξαρτημάτων του θαλάμου, αποτρέποντας το σχηματισμό τόξου και εξασφαλίζοντας σταθερή λειτουργία πλάσματος. Οι βασικές ιδιότητες περιλαμβάνουν υψηλή διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m), ειδική αντίσταση >10¹⁴ Ω·mm²/m και θερμική σταθερότητα έως 1600°C. Οι δυνατότητες ακριβούς κατεργασίας μας επιτυγχάνουν εξωτερικές διαμέτρους έως 600 mm, εσωτερικές διαμέτρους έως 0,2 mm, επιπεδότητα 0,003 mm και φινίρισμα επιφάνειας Ra0,1. Το μηδενικό πορώδες και η χημική αδράνεια του δακτυλίου εξασφαλίζουν μακροπρόθεσμη αξιοπιστία σε επιθετικά περιβάλλοντα ψεκασμού.

Προδιαγραφές (με βάση 99,8% Al)₂O₃& παραγωγικές δυνατότητες St.Cera):

Εφαρμογές:

• · Μονωτές πλάκας στήριξης στόχου σε συστήματα PVD
• · Μονωτές διέλευσης θαλάμου
• · Μονωτές δακτυλίων θωράκισης σε συστήματα ψεκασμού
• · Απομόνωση υψηλής τάσης σε θαλάμους πλάσματος

Ακρίβεια κατασκευής:

Ομόκεντρο: 0,01 mm, στρογγυλότητα: 0,002 mm, ευθύτητα: 0,005 mm, καθετότητα: 0,005 mm, επαληθευμένο από CMM.

AΠλεονεκτήματα έναντι των πολυμερών μονωτών:

• · Αντέχει στους 1600°C έναντι του ορίου <300°C του πολυμερούς
• · Χωρίς απαγωγή αερίων – διατηρεί την ακεραιότητα του κενού
• · Αντέχει στη διάβρωση από πλάσμα και στην χημική προσβολή

Προσαρμογή:

Διατίθενται προσαρμοσμένες διατομές, χαρακτηριστικά τοποθέτησης, προφίλ σκαλοπατιών και πολλαπλά σχέδια ομόκεντρων δακτυλίων.